品牌:VERIFLO | 适用范围:广泛 | 材质:不锈钢 |
类型:减压阀 | 型号:SQ2MICRO | 是否进口:是 |
数量:1000 个 | 公称直径:12cm | 接口形式:螺纹,卡套 |
公称压力:300bar | 产地:美国 | 功能用途:截止 |
包装规格:常规 | 是否定制:否 | 驱动方式:手动,气动 |
可售卖地:全国 |
SQ2Micro (0.06 Cv) 和 SQ2Micro130E (0.15 Cv) 是市场上进的微型 UHP 减压阀。该系列提供******和可靠的压力控制,可增强对半导体生产可重复性和良率至关重要的MFC(质量流量控制器)性能。该系列还具有***泄漏完整性和低颗粒生成,可减少半导体应用所必需的过程污染。
这些调压阀适用于惰性和腐蚀性气体,并对阶跃功能流量需求变化提供***的响应。该系列采用独特的自定心系膜片设计,可提供可靠的阀座密封和压力调节。通过消除提升弹簧和阀座固定螺纹,限度地减少颗粒的产生和截留,从而进一步提高了工艺清洁度和吹扫性能。
SQ2Micro 系列接液部件由特种金属制成,可在入口压力高达 250 psig 时提供***耐腐蚀性、泄漏完整性和最长的循环寿命。阀体经过内部电抛光,由派克Veriplo***VeriClean 316L不锈钢制成,超过Semi F20材料要求,每个隔膜和提升阀芯均由哈氏合金C-22制成,每个阀座均采用PCTFE或Vespel。